生产碳化硅设备
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产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽 ...
2022年12月15日 今年11月，上机数控在官微表示，公司在碳化硅切割领域取得了较大突破，自行研发的碳化硅切片设备获得成功，开辟了“碳化硅设备国产替代进口”的先河。截至 2022年1月4日 1、碳化硅粉末单晶炉国内能够生产，热场依靠进口碳化硅产业链包括衬底-外延-器件三环节。 其中衬底质量取决于三个因素∶粉末、单晶炉和生产技术人员。 粉末 碳化硅（SiC）设备和工艺情况跟踪 - 雪球2020年10月21日 以碳化硅mosfet工艺为例，整线关键工艺设备共22种。 1.碳化硅晶体生长及加工关键设备. 主要包括: 碳化硅粉料合成设备. 用于制备生长碳化硅单晶所需的碳化硅 首片国产 6 英寸碳化硅晶圆发布，有哪些工艺设备 ...
技术碳化硅产业链条核心：外延技术 - 知乎专栏
碳化硅功率器件与传统硅功率器件制作工艺不同，不能直接制作在碳化硅单晶材料上，必须在导通型单晶衬底上额外生长高质量的外延材料，并在外延层上制造各类器件。 碳化硅一般采用PVT方法，温度高达2000多度，且 1.1衬底方向： 碳化硅衬底在整个产业链中是成本占比最高的，达到47%，外延占比23%，器件设计+器件制造占比30%。 先普及一下基本常识：如今大多数衬底厂商都是处于6英寸 碳化硅产业链深度解析（全网最全独家） - 雪球2023年6月28日 据悉，8英寸单片式碳化硅外延设备可兼容6、8寸碳化硅外延生产，在6英寸外延设备原有的温度高精度闭环控制、工艺气体精确分流控制等技术基础上，解决了腔体设计中的温场均匀性、流场均匀性等控制 晶盛机电成功研发8英寸碳化硅外延设备 - 腾讯网碳化硅化学气相沉积外延设备-纳设智能官方网站-碳化硅外延设备属半导体设备领域，占据第三代半导体产业链上游关键环节。我司碳化硅外延设备采用自主创新的结构设计，同时 碳化硅化学气相沉积外延设备 - Naso Tech
